高精度量具（塞規(guī)）在淬火后須進(jìn)行冷處理．以減少殘余奧氏體量．從而增加尺寸穩(wěn)定性。冷處理溫度一般為一70—－80℃并在淬火冷卻到室溫后立即進(jìn)行，以免殘余奧氏體發(fā)生陳化穩(wěn)定。
淬火和低溫回火。（環(huán)規(guī)）量具鋼為過(guò)共析鋼．通常采用不全淬火加低溫回火處現(xiàn)在_硬度的前提下，盡量降低淬火溫度并進(jìn)行預(yù)熱，以減少加熱和冷卻過(guò)程中的溫差及淬火應(yīng)力。量具的淬火方式為油冷（20～30℃）不宜采用分級(jí)淬火和等溫淬火．只有在特殊情況下才予以考慮。一般采用低溫回火，回火溫度為150～160℃，回火時(shí)間不應(yīng)小于4～5h.
調(diào)質(zhì)處理。其目的是獲得回火索氏體組織，以減少淬火變形和提高機(jī)械加工的光潔度。
量具在使用過(guò)程中隨時(shí)間延長(zhǎng)而發(fā)生尺寸變化的現(xiàn)象稱(chēng)為量具的時(shí)效效應(yīng)。這是因?yàn)椋儆糜谥圃炝烤叩倪^(guò)共析鋼淬火后含有數(shù)量的殘余奧氏體，殘余奧氏體變?yōu)轳R氏體引起體積膨版。②馬氏體在使用中繼續(xù)分解，正方度降低引起體積收縮③殘余內(nèi)應(yīng)力的存在和重新分布，使彈性變形部分地轉(zhuǎn)變?yōu)樗苄宰冃我鸪叽缱兓?。因此在量具（螺紋環(huán)規(guī)）的熱處理中．
